程 洁
机械电子工程系，教授/博士生导师，教工机械系党支部书记
邮箱：jiecheng@cumtb.edu.cn 办公地址：海淀区学院路丁11号机电楼109
教 育 背 景
2011.09-2016.06 清华大学攻读博士学位-机械工程专业
2007.09-2011.06 山东大学攻读学士学位-机械工程专业
工 作 履 历
时段-职称/职务
2020.07至今 565net必赢客户端（北京）机电与信息工程学院，教授/博士生导师
2019.10–2020.07 北京理工大学，机械与车辆学院，助理教授/副研究员
2016.09–2019.09 清华大学，摩擦学国家重点实验室，博士后
访问学者经历
2018.06–2019.09 瑞典皇家理工KTH，表面与腐蚀科学研究所，博士后
个人主页
https://www.researchgate.net/profile/Jie-Cheng-9
https://scholar.google.com/citations?hl=zh-TW&user=IuHOLo0AAAAJ
人才培养情况
博士研究生（在读）4人，硕士研究生（在读）13人
研 究 领 域
学科：机械工程-机械制造
研究方向：电子制造摩擦学；化学机械抛光（CMP）技术
研 究 概 况
研究项目：
国家级项目：
1. 国家自然科学基金项目，xxxx新型钌金属栅的化学机械抛光机理研究；
2. 国家自然科学基金青年项目，xxxx亚14 nm节点FinFET的化学机械抛光基础研究
省部级项目：
1. 北京市自然科学基金项目，xxxx使用局部钴互连技术的化学机械抛光（CMP）机理研究；
2. 中国科协青年人才托举工程项目，新型钴互连的无籽晶电镀（ECP）及其化学机械抛光(CMP）的基础研究
3. 中国博士后科学基金特别资助，柔性纳米磨粒的制备及在xxxx化学机械抛光中的应用
4. 中国博士后科学基金面上项目，稀土元素掺杂氧化铈磨粒在FinFET化学机械抛光中的应用
科研平台：
煤矿智能化与机器人创新应用应急管理部重点实验室
产业转化项目：
[1] 河南航天精工制造有限公司委托横向，钛合金紧固件摩擦磨损特性及损伤机理研究，2023-2024.
研 究 成 果
代表性论文：
[1]Yan Meng, Luo Yue, Xiangli Wen, Peng Wei, Xue Zhou, Jie Cheng*, Pengpeng Bai, Qian Zhao, Yonggang Meng, Yu Tian*, The influence of polydiethylsiloxane (PDES) concentration on the tribofilm of chlorophenyl silicone oil (CPS0) under high-temperature lubrication, Journal of Materials Research and Technology, 29 (2024), 1557-1564
[2]程洁，孟延，苗钦华，葛世荣*，电子制造摩擦学，摩擦学学报，43，2023，833-854. （主编特邀综述）
[3]Shuo Gao, Qinhua Miao, Boyu Wen and Jie Cheng*. A Fem Model of Micro-Galvanic Corrosion Evolution at RU/CU Interface in H2O2 CMP Solution, 2023 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), Shanghai, China, IEEE, 2023, pp. 1-5, doi: 10.1109/CSTIC58779.2023.10219314.
[4]Lei Fan, Chun Hu, Neng Yang, Fan Xingshuai, Jie Cheng* and Xiangming Li, Gradient-distributed ZTAp-VCp/Fe45 as new anti-wear composite material and its bonding properties during composite casting, Science and Engineering of Composite Materials, 30 (2023), 20220200.
[5]潘盈卓，白鹏鹏，刘明辉，马楷，曹辉，程洁*，孟永钢，田煜*，高温控油润滑条件下Si3N4陶瓷与M50钢的摩擦学行为研究，摩擦学学报，2023，DOI： 10.16078/j.tribology.2022246.
[6]Jie Cheng*, Nanxuan Mei, Sulin Chen, Pengpeng Bai, Bin Shen, Jinshan Pan and Fan Zhang, Interactions in Composite Film Formation of Mefp-1/graphene on Carbon Steel, Coatings 11 (2021), 1161.
[7]Jie Cheng, Sulin Chen, Fan Zhang, Bin Shen, Xinchun Lu* and Jinshan Pan, Corrosion- and Wear-Resistant Composite Film of Graphene and Mussel Adhesive Proteins on Carbon Steel, Corrosion Science 164 (2020), 108351.
[8] Jie Cheng, Shuo Huang, Yang Li, Tongqing Wang, Lile Xie, and Xinchun Lu*. RE (La, Nd and Yb) doped CeO2 Abrasive Particles for Chemical Mechanical Polishing of Dielectric Materials: Experimental and Computational Analysis, Applied Surface Science 506 (2020), 144668.
[9]Jie Cheng, Shuo Huang and Xinchun Lu*. Preparation of Surface Modified Ceria Nanoparticles as Abrasives for the Application of Chemical Mechanical Polishing (CMP), ECS Journal of Solid State Science and Technology 9 (2020), 024015.
专利：
[1] 程洁，李杨，路新春. 一种镧系金属掺杂二氧化铈纳米磨粒的制备方法和应用，中国：201810440980.5
专著：
[1] Jie Cheng, Research on Chemical Mechanical Polishing Mechanism of Novel Diffusion Barrier Ru for Cu Interconnect, Springer, 2018 (Recognizing Outstanding Ph.D. Research)
教材：
[1] 林福严，程洁，张运九，《摩擦学简明教程》，机械工业出版社，2022
荣 誉 奖 励
2022 中国科协第七届“青年人才托举工程”
2018 青年工程师奖（Young Engineer Award），2018中国国际半导体技术大会，中国上海
2016 最佳学生奖（Best Student Award），2016中国国际半导体技术大会，中国上海
2016 优秀博士研究成果（Recognizing Outstanding Ph.D. Research），德国Springer出版社
2016 清华大学优秀博士学位论文
2016 北京市优秀毕业生
2014 青年学者奖（Young Researcher Award），2014国际化学机械抛光/平坦化大会，日本神户
2023 北京市优秀本科毕业论文指导教师
2022、2021 565net必赢客户端（北京）优秀本科毕业论文指导教师
科 研 方 向（本人正在从事的科研情况与未来5年内发展方向，200字以内）
致力于半导体化学机械抛光（CMP）技术、电子制造摩擦学的相关研究，主要研究方向包括：1）先进制程下的CMP机理及工艺研发；2）煤电子材料超精密制造方法；3）腐蚀磨损机理及防护策略。
